超纯水设备的工作原理：
超纯水设备通常由石英砂过滤器，活性碳过滤器，软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、EDI电除盐系统系统等构成主要设备，其工作时，原水→原水泵（由原水泵加压进入）→石英砂过滤器（过滤后再进入）→活性炭过滤器（过滤后再进入）→软化器→精密过滤器→一级反渗透→中间水箱→中间水泵→EDI模块→微孔过滤器→最后可制出超纯水用来生产使用。超纯水设备的组件中石英砂过滤器，活性碳过滤器，软化器及RO膜能有效除去原水中的悬浮物、泥砂、微粒、有机硅胶体、有机物、异味、余氯等杂质，使经过离子交换处理后的水质符合工业生产要求。在经过后端进行混床系统，使其产水水质满足生产用水的需要。超纯水设备的EDI系统主要是在直流电场的作用下，通过隔板的水中电介质离子发生定向移动，利用交换膜对离子的选择透过作用来对水质进行提纯的一种科学的水处理技术。电渗析器的一对电极之间，通常由阴膜，阳膜和隔板(甲、乙)多组交替排列，构成浓室和淡室(即阳离子可透过阳膜,阴离子可透过阴膜)超纯水设备采用成熟、可靠、先进、自动化程度高，采用PLC+控制系统，全套系统自动化程度高，系统稳定性高。大大节省人力成本和维护成本，水利用率高，运行可靠，经济合理。使设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。
超纯水设备的工艺流程：
1：离子交换方式：
自来水→高压泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软化水器→低压泵→精密过滤器→阳树脂床→阴树脂床→阴阳树脂混合床→微孔过滤器→用水点（优点：初投资少，占用的地方少。）
2：双级反渗透方式：
原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→软化器→精密过滤器→一级反渗透→PH调节→中间水箱→二级反渗透(反渗透膜表面带正电荷)→纯化水箱→纯水泵→微孔过滤器→超纯水用水点（优点：自动化程度高，维护简单，设备成本合理，初投次比采用离子交换树脂方式要高，但无须树脂再生）。
3：反渗透+EDI方式：
原水→原水泵→石英砂过滤器→活性炭过滤器→软化器→精密过滤器→一级反渗透→中间水箱→中间水泵→EDI模块→微孔过滤器→超纯水用水点（优点：采用反渗透作预处理再配合电去离子(EDI)装置，设备出水量（可高达17兆），水质稳定，设备自动化程度最高，是目前最经济实用、环保的超纯水设备制备工艺，无需酸碱再生便可连续制取超纯水）。
4：双级反渗透+EDI
原水→增压泵→砂过滤器→炭过滤器→软化器→保安过滤器→RO高压泵→RO反渗透主机→纯水箱→纯水增压泵→EDI主机→微孔过滤器→紫外线杀菌→用水点。（此工艺超纯水设备的最先进，最环保的的工艺，不需要用酸碱进行再生可连续制取超纯水，对环境没什么破坏性。其缺点在于初次投资较昂贵）。
5：双级反渗透+EDI系统出水=18mΩ.cm
原水箱—原水泵→多介质过滤器→活性炭过滤器→软水器→保安过滤器→一级高压泵—一级反渗透主机→PH调节—二级级高压泵—二级反渗透—纯水箱—脱气装置—微孔过滤器→EDI系统→抛光混床系统—储水罐→纯水输送泵→用水点。