温度对半导体生产过程中纯水水质的影响主要体现在水的物理性质、化学平衡以及微生物滋生等方面，以下是具体介绍：
对物理性质的影响
电阻率：温度与纯水的电阻率呈负相关关系。温度升高，水分子的热运动加剧，离子的迁移速度加快，水中离子的导电能力增强，电阻率降低；反之，温度降低，电阻率升高。例如，在 25℃时，理论上纯水的电阻率为 18.25MΩ・cm，当温度升高到 30℃时，电阻率可能会下降到 16MΩ・cm 左右。
密度：一般来说，温度升高，纯水的密度会减小。在半导体生产中，涉及到一些与体积计量相关的工艺，如化学溶液的配制等，如果温度变化导致纯水密度改变，可能会影响溶液浓度的准确性，进而影响半导体制造工艺的稳定性和产品质量。
粘度：温度升高，纯水的粘度降低。粘度的变化会影响纯水在管道中的流动特性和在半导体设备中的喷淋、冲洗等效果。粘度降低可能导致水流速度加快，对管道和设备的冲刷作用增强，甚至可能会影响一些需要精确控制水流速度和流量的工艺环节。
对化学平衡的影响
pH 值：温度对水的电离平衡有影响，进而影响 pH 值。水的电离是一个吸热过程，温度升高，水的电离程度增大，氢离子和氢氧根离子浓度都增加，但由于二者增加的程度相同，所以纯水在不同温度下仍然呈中性，但 pH 值会变小。例如，25℃时纯水的 pH 值为 7，而在 100℃时，纯水的 pH 值约为 6.1。在半导体清洗等工艺中，pH 值的变化可能会影响清洗效果和对半导体材料的腐蚀程度。
溶解气体含量：温度升高，气体在水中的溶解度通常会降低。如二氧化碳、氧气等气体在纯水中的溶解度会随温度上升而减小。对于半导体生产，溶解氧含量的变化可能会导致水中氧化性增强或减弱，影响半导体材料表面的氧化还原反应，进而影响半导体器件的性能和质量。
对微生物的影响
微生物繁殖：适宜的温度是微生物生长繁殖的重要条件之一。一般来说，在一定温度范围内，温度升高会加快微生物的新陈代谢和繁殖速度。在半导体生产用纯水中，微生物的滋生可能会产生生物膜，堵塞管道和过滤器，还可能释放代谢产物，污染水质，影响半导体制造工艺和产品质量。通常微生物在 25℃ - 40℃范围内繁殖较快，因此半导体生产中纯水系统的温度一般尽量避免处于此区间。
对物理性质的影响
电阻率：温度与纯水的电阻率呈负相关关系。温度升高，水分子的热运动加剧，离子的迁移速度加快，水中离子的导电能力增强，电阻率降低；反之，温度降低，电阻率升高。例如，在 25℃时，理论上纯水的电阻率为 18.25MΩ・cm，当温度升高到 30℃时，电阻率可能会下降到 16MΩ・cm 左右。
密度：一般来说，温度升高，纯水的密度会减小。在半导体生产中，涉及到一些与体积计量相关的工艺，如化学溶液的配制等，如果温度变化导致纯水密度改变，可能会影响溶液浓度的准确性，进而影响半导体制造工艺的稳定性和产品质量。
粘度：温度升高，纯水的粘度降低。粘度的变化会影响纯水在管道中的流动特性和在半导体设备中的喷淋、冲洗等效果。粘度降低可能导致水流速度加快，对管道和设备的冲刷作用增强，甚至可能会影响一些需要精确控制水流速度和流量的工艺环节。
对化学平衡的影响
pH 值：温度对水的电离平衡有影响，进而影响 pH 值。水的电离是一个吸热过程，温度升高，水的电离程度增大，氢离子和氢氧根离子浓度都增加，但由于二者增加的程度相同，所以纯水在不同温度下仍然呈中性，但 pH 值会变小。例如，25℃时纯水的 pH 值为 7，而在 100℃时，纯水的 pH 值约为 6.1。在半导体清洗等工艺中，pH 值的变化可能会影响清洗效果和对半导体材料的腐蚀程度。
溶解气体含量：温度升高，气体在水中的溶解度通常会降低。如二氧化碳、氧气等气体在纯水中的溶解度会随温度上升而减小。对于半导体生产，溶解氧含量的变化可能会导致水中氧化性增强或减弱，影响半导体材料表面的氧化还原反应，进而影响半导体器件的性能和质量。
对微生物的影响
微生物繁殖：适宜的温度是微生物生长繁殖的重要条件之一。一般来说，在一定温度范围内，温度升高会加快微生物的新陈代谢和繁殖速度。在半导体生产用纯水中，微生物的滋生可能会产生生物膜，堵塞管道和过滤器，还可能释放代谢产物，污染水质，影响半导体制造工艺和产品质量。通常微生物在 25℃ - 40℃范围内繁殖较快，因此半导体生产中纯水系统的温度一般尽量避免处于此区间。