半导体纯水机分为哪几个部分

预处理系统

• 原水增压泵
  • 功能：给原水提供动力，使水能够顺利通过后续的处理单元。由于原水的压力可能不足以推动整个水处理流程，增压泵可以将水压提高到合适的范围。
  • 应用场景：当原水来自市政供水且压力不足，或者水源处于较低位置需要提升压力时，增压泵发挥关键作用。
• 多介质过滤器
  • 功能：去除原水中的大颗粒杂质、悬浮物、泥沙等。其内部通常填充有石英砂、无烟煤等过滤介质，通过不同粒径介质的分层过滤，能够有效截留较大的固体颗粒。
  • 应用场景：广泛应用于各种水源的预处理，特别是水质较为浑浊的地表水或地下水。
• 活性炭过滤器
  • 功能：吸附水中的有机物、余氯、异色、异味等。活性炭具有巨大的比表面积和丰富的微孔结构，能够通过物理吸附和化学吸附作用去除水中的多种污染物。
  • 应用场景：对于含有余氯的市政供水，活性炭过滤器可以有效保护后续的反渗透膜等设备，防止余氯对膜造成氧化损伤。
• 软化器
  • 功能：降低水中的硬度，主要是去除水中的钙、镁等离子。通过离子交换树脂与水中的钙、镁离子发生交换反应，将其置换为钠离子，从而达到软化水质的目的。
  • 应用场景：当原水硬度较高时，软化器可以防止后续设备（如反渗透膜、管道等）结垢，延长设备使用寿命。

反渗透系统

• 保安过滤器
  • 功能：作为反渗透膜的最后一道预处理防线，进一步去除水中的微小颗粒，防止其进入反渗透膜组件，避免膜的堵塞和损坏。通常采用孔径较小的滤芯，如 5μm 或更小的滤芯。
  • 应用场景：安装在反渗透膜进水端，确保进入反渗透膜的水质符合要求。
• 高压泵
  • 功能：为反渗透过程提供足够的压力，使水能够克服渗透压，通过反渗透膜，实现水和盐分的分离。高压泵的压力一般需要根据反渗透膜的类型和原水水质进行调整。
  • 应用场景：是反渗透系统正常运行的关键设备，为反渗透过程提供动力支持。
• 反渗透膜组件
  • 功能：是反渗透系统的核心部件，通过半透膜的原理，只允许水分子通过，而截留水中的盐分、有机物、微生物等杂质，从而实现水的高度净化。
  • 应用场景：广泛应用于各种纯水制备过程，是去除水中离子和大分子杂质的主要手段。

后处理系统

• 混床离子交换器
  • 功能：进一步去除水中残留的离子，通过将阳离子交换树脂和阴离子交换树脂混合装填在一个容器中，对水中的阴阳离子进行深度交换，使水质达到更高的纯度。
  • 应用场景：用于对水质要求极高的半导体制造工艺，确保水中的离子含量极低。
• EDI（连续电除盐）装置
  • 功能：连续电除盐技术是一种先进的脱盐工艺，它结合了离子交换树脂和离子交换膜的原理，在电场的作用下，实现连续的离子交换和再生过程，能够高效地去除水中的离子。
  • 应用场景：在半导体纯水制备中，EDI 装置常作为混床的替代或补充，提供稳定的高纯度水。
• 紫外线杀菌器
  • 功能：利用紫外线的杀菌作用，杀灭水中的细菌、病毒等微生物。紫外线能够破坏微生物的 DNA 结构，使其失去繁殖和生存能力。
  • 应用场景：防止微生物在纯水中滋生，保证纯水的微生物指标符合半导体制造的要求。
• 终端过滤器
  • 功能：去除水中可能残留的微小颗粒和细菌，进一步提高水质的纯度。通常采用孔径更小的滤芯，如 0.22μm 或 0.1μm 的滤芯。
  • 应用场景：作为纯水的最后一道过滤防线，确保进入半导体生产设备的水质符合严格的要求。

控制系统

• PLC 控制器
  • 功能：可编程逻辑控制器（PLC）是控制系统的核心，它可以根据预设的程序对整个纯水机的运行进行自动化控制，包括设备的启停、参数调节、故障报警等。
  • 应用场景：实现对半导体纯水机各个部分的集中控制和自动化运行，提高生产效率和稳定性。
• 传感器
  • 功能：用于实时监测纯水机运行过程中的各种参数，如压力、流量、水质（电导率、电阻率等）、温度等。传感器将监测到的信号传输给 PLC 控制器，以便进行实时调整和控制。
  • 应用场景：确保纯水机在各种工况下都能稳定运行，保证水质符合要求。
• 人机界面（HMI）
  • 功能：为操作人员提供一个直观的操作和监控平台，通过触摸屏或显示屏，操作人员可以方便地设置参数、查看设备运行状态、查询历史数据等。
  • 应用场景：方便操作人员对半导体纯水机进行操作和管理，提高工作效率和操作的准确性。

其他部分

• 水箱
  • 功能：用于储存处理后的纯水，起到缓冲和调节水量的作用。水箱可以保证在用水高峰期也能稳定供应纯水，同时也可以储存一定量的纯水以备不时之需。
  • 应用场景：根据半导体生产的用水量和用水规律，合理设置水箱的容量。
• 管道系统
  • 功能：连接各个处理单元和设备，将水从一个部分输送到另一个部分。管道系统需要具有良好的密封性和耐腐蚀性，以确保纯水在输送过程中不受污染。
  • 应用场景：在整个半导体纯水机的安装和布局中，管道系统的设计和安装至关重要，直接影响到纯水机的运行效率和水质。