半导体纯水制造设备的价格差异主要受以下因素影响：
设备规格与产能
- 产水量：产水量越大，意味着设备需要处理的原水更多，需要更大的过滤器、更多的膜组件、更强大的泵等，设备的体积和复杂程度增加，价格也会相应提高。例如，小型实验室用的纯水设备，产水量在每小时几十升，价格可能在几万元；而大型半导体制造企业使用的每小时几十立方米产水量的设备，价格则可能达到几十万元甚至更高。
- 水质要求：不同的半导体制造工艺对纯水的电阻率、颗粒度、有机物含量等指标要求不同。要求越高，需要的处理工艺越复杂，设备中所使用的高精度过滤膜、离子交换树脂等关键部件的性能和质量要求也越高，价格自然更贵。如生产普通半导体芯片可能只需电阻率为 10MΩ・cm 左右的纯水，而生产高端芯片则要求电阻率达到 18.2MΩ・cm 及以上的超纯水，相应的设备价格会大幅上升。
技术水平与材质
- 核心技术：采用先进的纯水制造技术，如 EDI 技术、反渗透技术、离子交换技术等的组合和优化程度不同，会影响设备的价格。先进的技术通常意味着更高的除盐率、更好的水质稳定性和更低的运行成本，但设备的研发和制造成本也会增加。例如，具有高效 EDI 模块的设备，能连续稳定地生产高纯度超纯水，价格相对较高。
- 关键部件材质：设备中与水接触的部件，如过滤器、管道、膜组件等的材质质量会影响设备的性能和使用寿命。优质的不锈钢、耐腐蚀塑料等材质成本较高，但能确保设备在长期运行中稳定可靠，减少维修和更换部件的频率，从而使设备价格上升。例如，采用进口高品质反渗透膜的设备，价格通常比使用国产普通膜的设备要高。
品牌与售后服务
- 品牌影响力：知名品牌通常在产品质量、技术研发、生产工艺等方面具有优势，能够提供更可靠的设备和更稳定的水质保障，其品牌价值也会体现在价格上。例如，国际知名品牌的半导体纯水制造设备价格往往比一些小品牌高出 20%-50% 左右。
- 售后服务：完善的售后服务体系，包括设备的安装调试、培训、维修保养、零部件供应等，对于设备的长期稳定运行至关重要。提供优质售后服务的品牌，其设备价格中会包含一定的服务成本。
定制需求
- 特殊工艺要求：如果半导体生产企业有特殊的水质要求或生产工艺，需要对纯水设备进行定制化设计和改造，如增加特定的过滤环节、调整设备的运行参数等，这会增加设备的研发、设计和制造成本，导致价格上涨。
- 场地限制：当设备安装场地空间有限时，需要对设备进行紧凑化设计或特殊布局，可能会增加设备的制造难度和成本。