在半导体制造等对水质要求严苛的领域，反渗透纯水机产出水质的颗粒物质检测标准极为严格，一般遵循以下标准：
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粒径与数量限制：每升水中大于 0.1μm 的颗粒数不超过 1 个 。在一些更为先进的半导体制造工艺中，对于大于 0.05μm 的颗粒数也有严格限制，要求数量极低甚至趋近于零。这是因为在半导体芯片制造过程中，哪怕极其微小的颗粒都可能对芯片的性能和成品率产生严重影响。例如，在光刻环节，颗粒物质可能导致光刻图案的变形或缺陷，进而影响芯片电路的布局和功能。
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行业标准规范：国际半导体设备与材料协会（SEMI）制定了一系列针对半导体制造用水的标准，其中对颗粒物质的要求被行业广泛采用。随着半导体技术不断向更小的制程节点发展，如从 14nm 向 7nm、5nm 甚至更小迈进，对颗粒物质的控制标准也愈发严格，以满足日益精密的制造工艺需求。
