检测半导体反渗透纯水机产出的水质是否达标，需采用专业方法与设备，针对不同指标有相应检测手段：
电阻率检测
- 检测原理：依据欧姆定律，通过测量两个平行电极在水中的电阻来确定水的电阻率。水越纯，电阻越大，电阻率越高。
- 检测方法：使用高精度电阻率仪。取适量水样注入干净的测量槽，将电极浸入，确保电极与水样充分接触，待读数稳定后记录。测量时需注意温度对电阻率的影响，通常要换算到 25℃标准温度下的电阻率，以准确判断是否达到 18.2MΩ・cm（25℃）的标准。
总有机碳（TOC）检测
- 检测原理：将水样中的有机碳转化为二氧化碳，通过检测二氧化碳含量来确定 TOC。常见方法有燃烧氧化 - 非分散红外吸收法、湿法氧化 - 非分散红外吸收法等。
- 检测方法：采用专业 TOC 分析仪。先对仪器进行校准，取适量水样注入仪器，按照仪器操作说明进行检测，直接读取水样 TOC 含量，看是否控制在 10ppb 甚至更低。
颗粒物质检测
- 检测原理：基于光散射或遮光原理。当颗粒通过光束时，会引起光的散射或遮挡，仪器通过检测光信号变化来识别和计数颗粒。
- 检测方法：使用颗粒计数器。将水样以恒定流速通过颗粒计数器的检测区，仪器自动统计并显示每升水中大于特定粒径（如 0.1μm 或 0.05μm）的颗粒数量。
微生物检测
- 检测原理：利用微生物在特定培养基上生长形成菌落的特性来计数。
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检测方法：
- 薄膜过滤法：取一定体积水样通过无菌滤膜，截留微生物，将滤膜放在适宜培养基上培养。经过一定时间（如 48 - 72 小时）培养后，计数长出的菌落数，计算每毫升水样中的细菌含量。
- 直接计数法：借助荧光显微镜，对水样中经荧光染色的微生物直接计数。
溶解气体检测
- 检测原理：溶解氧检测常基于电化学原理，如极谱法或电流法；二氧化碳检测可采用红外吸收法、酸碱滴定法等。
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检测方法：
- 溶解氧：使用溶解氧测定仪，将探头浸入水样，待读数稳定后记录溶解氧含量，看是否在 10ppb 以下。
- 二氧化碳：若采用红外吸收法，使用二氧化碳分析仪，将水样注入仪器，根据仪器检测的红外吸收信号确定二氧化碳含量 。