半导体工业用纯水机组的预处理系统中，微滤器具有以下重要作用：
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去除悬浮物和颗粒物：能截留 0.1-1 微米之间的颗粒，可有效去除水中的砂砾、淤泥、黏土等悬浮物和颗粒物，降低水的浊度，使水质更加澄清，减轻后续处理设备的负担。
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拦截微生物：可以阻挡贾第虫、隐孢子虫、藻类和一些细菌等微生物通过，减少微生物对后续反渗透膜等设备的污染和堵塞风险，防止微生物在系统中滋生和繁殖，保证纯水的微生物指标符合半导体生产要求。
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保护下游设备：通过去除水中的大颗粒杂质和微生物等，可防止这些物质进入反渗透膜、离子交换树脂等下游设备，避免对其造成磨损、堵塞和污染，从而延长这些设备的使用寿命，确保整个纯水机组的稳定运行。
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降低胶体浓度：对水中的胶体物质有良好的截留效果，能去除部分胶体，降低水中胶体的浓度，防止胶体在后续处理过程中发生凝聚和沉积，影响水质和设备运行。
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保证水质稳定：作为预处理的重要环节，可使进入后续处理系统的水质更加稳定，减少水质波动对后续工艺的影响，为生产高质量的半导体用纯水提供可靠的保障。
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提升整体效率：微滤器的高效过滤作用可去除大量杂质，使后续的反渗透、EDI 等处理工艺能够更高效地运行，提高整个纯水制备系统的效率和产水质量，降低运行成本。
